TÀI LIỆU THƯ VIỆN SỐ

Hệ thống vi cơ điện tử MEMS và ứng dụng

Bài viết này trình bày tổng quan về vi cơ điện tử MEMS, một lĩnh vực khoa học liên ngành dựa trên nền tảng của ngành vi điện tử và vi chế tạo. Các linh kiện MEMS hiện nay được sử dụng rộng rãi trong xã hội như cảm biến gia tốc, cảm biến góc, cảm biến áp suất, cảm biến sinh học,...

Từ khóa: Vi cơ điện tử, Vi chế tạo, Linh kiện MEMS, Cảm biến gia tốc, Cảm biến góc, Cảm biến áp suất