Tối ưu hóa tính chất quang điện màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb (ATO) loại P được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron

Bài viết nghiên cứu tính chất quang điện, cấu trúc tinh thể của màng SnO2 pha tạp antimony (Sb) được lắng đọng trên đế thạch anh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC từ bia gốm hỗn hợp SnO2 và Sb2O3.