Xác định bề dày phôi vật liệu bằng hệ phổ kế alpha

Bài viết này trình bày hai phương pháp để xác định bề dày của những phôi vật liệu cực mỏng một cách đơn giản, nhanh, chính xác và không tốn kém. Cả hai phương pháp này dựa trên nền tảng của sự mất năng lượng của hạt alpha khi qua phôi vật liệu và sau đó được ghi nhận bằng hệ phổ kế alpha có độ phân giải năng lượng cao.